蔡司掃描電鏡的觀察方法是在透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間進行微觀掃描。显微成像可以直接利用样品表面材料的材料特性。

蔡司掃描電鏡的優點如下：

①放大倍数高，20万～连续可调20万倍。

②景深大，视野大，立体图像大，可直接观察各种样品表面凹凸不平，结构精细。

③样品制作简单。

目前，蔡司扫描电镜配备了x射线能谱装置，不仅可以观察微结构，还可以分析微区域的成分。因此，蔡司扫描电镜是一种非常有用的研究仪器。